[实用新型]具有防崩膜功能的PVD沉积室

摘要

本实用新型公开了一种具有防崩膜功能的PVD沉积室，包括阴极、阳极框、主气管道、侧遮板、基板和金属网罩，阴极、阳极框和基板从上到下平行设置，侧遮板水平设置在阳极框内侧的两长边端，主气管道设置在侧遮板的上方，金属网罩包括第一网板、第二网板和第三网板，第一网板与主气管道的上弧相切，且第一网板的第一长边端与阳极框连接，第三网板附着在侧遮板的上侧面，第二网板与基板垂直设置，且第二网板的第一长边端与第一网板的第二长边端连接，第二网板的第二长边端与第三网板的第一长边端连接。本实用新型通过增加Z字型的金属网罩，可以对侧遮板和主气管道产生的崩渣的活动范围进行有效的束缚，大大降低崩渣掉落的概率，进而提高产品良率。

主权项

一种具有防崩膜功能的PVD沉积室，包括阴极、阳极框、主气管道、侧遮板和基板，所述阴极、所述阳极框和所述基板从上到下依次平行设置，所述侧遮板水平设置在所述阳极框内侧的两长边端，所述主气管道设置在所述侧遮板的上方，其特征在于：还包括金属网罩，所述金属网罩包括第一网板、第二网板和第三网板，所述第一网板与所述主气管道的上弧相切，且所述第一网板的第一长边端与所述阳极框连接，所述第三网板附着在所述所述侧遮板的上侧面，所述第二网板与所述基板垂直设置，且所述第二网板的第一长边端与所述第一网板的第二长边端连接，所述第二网板的第二长边端与所述第三网板的第一长边端连接。