[实用新型]一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构有效
| 申请号： | 201420571089.2 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN204174275U | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 龙汝磊;戴秀海 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。本实用新型的优点是：具有分支和分割性；通过对治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机镀膜翻转治具过重的问题，同时避免了扇形工件治具在靠近伞架中心端载片量受限的缺陷；相比于完全是扇形翻转镀膜治具的镀膜伞架，在治具面积相同的情况下，本实用新型中的分段式翻转镀膜治具机构具有更多的载片量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 双面 连续 镀膜 段式 翻转 机构 | ||
【主权项】：
一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，设置于真空镀膜机内的镀膜伞架上，所述镀膜伞架由镀膜伞架内圈、主支架与若干分割筋板构成，所述镀膜伞架内圈位于所述主支架中心且通过若干所述分割筋板与所述主支架连接固定，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。
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