[实用新型]一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置有效
| 申请号： | 201420580231.X | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN204097556U | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 江新松;张家宏;林耀辉;王军辉;邱树添;彭家彦 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，包括坩埚、火山口和多个衬锅；所述坩埚设有多个坩埚容器；所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩埚容器内，且所述坩埚上方置有所述火山口；其特征在于：所述蒸镀装置还包括多个升降装置和驱动装置；所述坩埚底端开设有多个孔口，所述升降装置穿过孔口与所述坩埚组合，并在所述驱动装置的调节下控制衬锅的运作状态。本实用新型通过调节衬锅的高度，缩小衬锅与火山口之间的间隙，改善蒸镀过程中蒸镀源间的交叉污染现象，减少片源异常，降低异常率，有效地降低成本；在蒸镀过程中，由于衬锅底部远离坩埚容器底部，减弱了坩埚底部对衬锅内镀源的冷却作用，从而减小镀膜时的功率输出，进一步节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 蒸镀源 交叉 污染 装置 | ||
【主权项】：
一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，包括坩埚、火山口和多个衬锅；所述坩埚设有多个坩埚容器；所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩埚容器内，且所述坩埚上方置有所述火山口，其特征在于：所述蒸镀装置还包括多个升降装置和驱动装置；所述坩埚底端开设有多个孔口，所述升降装置穿过孔口与所述坩埚组合，并在所述驱动装置的调节下控制衬锅的运作状态。
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