[实用新型]一种研磨垫有效
| 申请号： | 201420581031.6 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN204135871U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 魏红建 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨垫，所述研磨垫包括：研磨垫体；形成于所述研磨垫体表面的若干个圆环形沟槽；以及形成于所述研磨垫体边缘区域的台阶结构。本实用新型在研磨垫边缘设置有若干梯度相等的台阶，并在在每个台阶的表面形成不同颜色涂层，在研磨过程中,通过观看不同区域的颜色，就可以看出研磨垫沟槽的深度，从而可以直观判断出研磨垫的剩余寿命，大大降低了时间成本和人力成本。本实用新型结构简单，适用于工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，其特征在于，所述研磨垫包括：研磨垫体；形成于所述研磨垫体表面的若干个圆环形沟槽；以及形成于所述研磨垫体边缘区域的台阶结构。
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