[实用新型]坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构及生长炉有效
申请号: | 201420584845.5 | 申请日: | 2014-10-11 |
公开(公告)号: | CN204080175U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 龚四均 | 申请(专利权)人: | 成都东骏激光股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 孙杰;曾晓波 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种适用于大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构;所述坩埚杆密封机构包括坩埚杆和炉体,坩埚杆穿过炉体的底部至炉膛内,且坩埚杆可相对于炉体上下升降,炉体的坩埚杆配合面上设置有上密封机构,坩埚杆的炉体外侧段还套设有可伸缩套件,可伸缩套件的上端与炉体密封连接,下端与坩埚杆密封配合;本实用新型的坩埚杆密封机构,在坩埚杆上下移动过程中始终处在可伸缩套件的伸缩范围中,上密封机构的作用是阻挡颗粒状的保温材料掉入可伸缩部件内,炉膛与坩埚杆的密封主要是靠下密封机构进行密封,有利于消除坩埚杆与下密封机构之间的磨损,大大提高了密封的性能,同时也提高了下密封机构和坩埚杆的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 下降 生长 密封 机构 | ||
【主权项】:
一种坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构,其特征在于:包括坩埚杆(1)和炉体(2),所述坩埚杆(1)穿过炉体(2)的底部至炉膛内,且坩埚杆(1)可相对于炉体(2)上下升降,炉体(2)的坩埚杆(1)配合面上设置有上密封机构(3),坩埚杆(1)的炉体(2)外侧段还套设有可伸缩套件(7),所述可伸缩套件(7)的上端与炉体(2)密封连接,下端与坩埚杆(1)密封配合。
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