[实用新型]一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构装置有效
| 申请号： | 201420585670.X | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN204182917U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵艳;李双浩;蒋毅坚 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B22F9/04 | 分类号： | B22F9/04;B22F1/02;C01G9/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构的装置属于激光制造领域。该装置包括激光器、反射镜、聚焦镜、石英窗口、烧杯、烧蚀靶材、旋转平台，所述反射镜位于聚焦镜上方，所述聚焦镜位于石英窗口上方，所述石英窗口位于烧杯顶部，所述烧蚀靶材固定在烧杯内底部，所述烧杯位于旋转平台上，石英窗口、烧杯与旋转平台转轴同轴，旋转平台的转速可调。采用本装置在脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构过程中烧杯内液体被石英窗口与外界隔绝，不会外溅。可以提前通入氧气或氮气或氦气，促进或保护烧蚀过程中纳米结构的形成。.本装置旋转平台外设，烧杯底部无需密封，既节省制造成本又不会在制备过程中污染液体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 脉冲 激光 液相烧蚀 法制 纳米 结构 装置 | ||
【主权项】：
一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构的装置，其特征在于：包括准分子激光器、反射镜、聚焦镜、石英窗口、烧杯、烧蚀靶材和旋转平台，所述反射镜位于聚焦镜上方，所述聚焦镜位于石英窗口上方，所述石英窗口位于烧杯顶部，所述烧蚀靶材固定在烧杯内底部，所述烧杯位于旋转平台上，石英窗口、烧杯与旋转平台转轴同轴，旋转平台的转速可调。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学，未经北京工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420585670.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内涨式夹具
- 下一篇：一种一次成型的粉末冶金汽车同步器齿毂成型模具
