[实用新型]精确控温加热平台

摘要

本实用新型提供一种精确控温加热平台，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；架体上从下到上依次架设有隔热层和台面，隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与台面之间相距一安全距离；在隔热层上的每个加热区域的中间位置设置第一控温仪的热电偶；台面上与第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。第一控温仪及第二控温仪通过导线连接，第二控温仪的热电偶感测的台面温度经第二控温仪及导线传输给第一控温仪，第一控温仪根据台面温度对加热管的温度进行控制。本实用新型的台面尺寸可根据靶材组件尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小，均可精确控制台面温度，并保持台面温度的均匀性。

主权项

精确控温加热平台，其特征在于，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；该架体上从下到上依次架设有该隔热层和该台面，该隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与该台面之间相距一安全距离；在该隔热层上的每个加热区域之内设置该第一控温仪的热电偶；该台面上与该第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。