[实用新型]限位装置有效
申请号: | 201420588269.1 | 申请日: | 2014-10-11 |
公开(公告)号: | CN204138823U | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 崔东凯;李保华;杜防修;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请(专利权)人: | 上海超硅半导体有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 201617 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可调式籽晶头限位装置,包括滑动机构、限位机构、套环机构;所述滑动机构包括设置有滑块(2)的直线滑轨(1);所述限位机构包括两个感应式接近开关(8)、垫块(16)和金属挡片(7);所述两个感应式接近开关(8)分别在垫块(16)的两端;相对应于两个感应式接近开关(8),所述金属挡片(7)通过感应柱(5)固定在直线滑轨(1)上;所述套环机构包括带孔套环(12),所述带孔套环(12)内设置有轴承(13),所述轴承(13)内设置有固定线轮(14);所述带孔套环(12)通过折弯杆(4)固定在滑块(2)上。 | ||
搜索关键词: | 限位 装置 | ||
【主权项】:
一种限位装置,包括滑动机构、限位机构、套环机构;其特征是:所述滑动机构包括设置有滑块(2)的直线滑轨(1);所述限位机构包括两个感应式接近开关(8)、垫块(16)和金属挡片(7);所述两个感应式接近开关(8)分别在垫块(16)的两端;相对应于两个感应式接近开关(8),所述金属挡片(7)通过感应柱(5)固定在直线滑轨(1)上;所述套环机构包括带孔套环(12),所述带孔套环(12)内设置有轴承(13),所述轴承(13)内设置有固定线轮(14);所述带孔套环(12)通过折弯杆(4)固定在滑块(2)上。
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