[实用新型]一种研磨垫调整器有效
| 申请号： | 201420599764.2 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204149007U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨垫调整器，包括：研磨垫调整器手臂，以及藉由多根联轴连接于所述研磨垫调整器手臂上的多个研磨盘；所述多根联轴连接有用于分别控制各研磨盘的自转的第一动力装置、用于分别控制各研磨盘的升降的第二动力装置，以及用于控制至少一个研磨盘在所述研磨垫调整器手臂上移动的第三动力装置。本实用新型的研磨垫调整器采用多个研磨盘，并以压缩空气分别控制研磨盘的升降，利用各研磨盘的研磨速率不同来调节研磨速率，使研磨速率保持稳定，同时利用研磨盘的水平移动实现更大范围的研磨垫表面修整及表面颗粒清洁工作，进一步提高研磨的均匀性和研磨质量。同时，研磨盘在整个生命周期中都能被充分利用，大大节约了资源和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 调整器 | ||
【主权项】：
一种研磨垫调整器，其特征在于，所述研磨垫调整器至少包括：研磨垫调整器手臂，以及藉由多根联轴连接于所述研磨垫调整器手臂上的多个研磨盘；所述多根联轴连接有用于分别控制各研磨盘的自转的第一动力装置、用于分别控制各研磨盘的升降的第二动力装置，以及用于控制至少一个研磨盘在所述研磨垫调整器手臂上移动的第三动力装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420599764.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种神经内科分指板
- 下一篇：带水调温功能的按摩椅
