[实用新型]一种压气机叶片涂层的表面改性设备有效
| 申请号： | 201420620654.X | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN204111860U | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 金杰;王丽叶;王月;陈亮;杨文军;李朋帅 | 申请（专利权）人： | 北京机械工业自动化研究所 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/46;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;常大军 |
| 地址： | 100120 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种压气机叶片涂层的表面改性设备，用于对叶片进行覆膜，包括真空腔室、氮气源、第一弧源、第二弧源、考夫曼离子源和MEVVA离子源。叶片设置于真空腔室内，第一弧源、第二弧源、MEVVA离子源、考夫曼离子源以及氮气源分别连接于真空腔室上。第一弧源采用铬铝合金靶，第二弧源采用钽靶，MEVVA离子源采用铬阴极，考夫曼离子源对叶片表面进行清洗，MEVVA离子源、第一弧源、第二弧源和氮气源对叶片表面进行反复镀膜。本实用新型通过采用阴极磁过滤和等离子体增强技术，改善了叶片复杂结构膜层沉积均匀性差的问题，同时采用新型的掺杂Al的Ta-Cr-N纳米多层膜提高叶片表面的耐高温腐蚀和冲蚀能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压气 叶片 涂层 表面 改性 设备 | ||
【主权项】：
一种压气机叶片涂层的表面改性设备，对一叶片进行覆膜，其特征在于，包括：氮气源；真空腔室，所述氮气源连接于所述真空腔室外，所述叶片设置于所述真空腔室内，所述真空腔室包括侧壁和底壁和顶壁；第一弧源，连接于所述侧壁上；第二弧源，连接于所述侧壁上；MEVVA离子源，连接于所述侧壁上；以及考夫曼离子源，连接于所述底壁上；其中，所述第一弧源采用铬铝合金靶，所述第二弧源采用钽靶，所述MEVVA离子源采用铬阴极，所述考夫曼离子源对所述叶片表面进行清洗，所述MEVVA离子源、所述第一弧源、所述第二弧源和所述氮气源对所述叶片表面进行反复镀膜。
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