[实用新型]用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备有效

专利信息
申请号: 201420622491.9 申请日: 2014-10-24
公开(公告)号: CN204174276U 公开(公告)日: 2015-02-25
发明(设计)人: 南晴;肖俊峰;唐文书;高斯峰;上官博;李永君;张炯 申请(专利权)人: 西安热工研究院有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/44
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 陆万寿
地址: 710032 *** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备,包括真空炉体、气体供给控制系统以及真空与尾气处理系统。气体供给控制系统精确控制反应气、载气和保护气流量,反应气体通过导气座进入叶片内部冷却孔道反应生成涂层,实现叶片内孔道表面涂层全覆盖;保护气通过输气管道覆盖叶片外表面,防止叶片外表面与内孔道流出的反应气体长时间接触而反应生成有害厚度的涂层;采用碱液循环真空泵系统维持反应室给定的真空度并中和尾气中的HCl气体,通入气态反应物与尾气中的氯化铝气体反应生成固态颗粒物。本实用新型结构简单,操作方便,尾气处理能力强,生产效率高,能够满足叶片内孔道表面防护涂层的性能以及工业生产和环保要求。
搜索关键词: 用于 制备 燃气 透平 叶片 表面 涂层 化学 沉积 设备
【主权项】:
用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备,其特征在于:包括真空炉体(1)、气体供给控制系统(15)和真空与尾气处理系统;其中,真空炉体(1)的周向及顶端由外至内依次为炉外保温材料层、外炉壳、耐火材料衬里(2)和加热器(3),真空炉体(1)内设置有不锈钢内胆(4),不锈钢内胆(4)通过设置在真空炉体(1)底端的反应室底座(10)密封至真空炉体(1)内,不锈钢内胆(4)的腔室分为涂层反应室和尾气排放区,涂层反应室配置有与气体供给控制系统(15)相连接的中心处输气管道(5a)、若干Ar气输气管道(5b),中心处输气管道(5a)的周向设置有若干支架(8),每个支架(8)上均设置有一个导气座(7),每个导气座(7)均通过水平导管(6)与中心处输气管道(5a)相连通,每个导气座(7)的底端为多孔气体分散板(32),多孔气体分散板(32)内放置了若干Al‑Cr合金颗粒(33),叶片(S)的叶根设置在导气座(7)的顶端,且叶片(S)的叶根完全掩埋在其周向设置的耐高温惰性填料(34)中;气体供给控制系统(15)分别设置有Ar气出口、反应气体S1出口和气态反应物S2出口,Ar气出口分别与若干Ar气输气管道(5b)的入口相连,反应气体S1出口与中心处输气管道(5a)的入口相连;反应室底座(10)上设置有排气管道(11),排气管道(11)通过水平尾气导管(25)与真空与尾气处理系统中的碱液循环真空泵(26)相连,电动机(27)用于为碱液循环真空泵(26)提供动力,碱液循环真空泵(26)上设置有排气管(28),且碱液循环真空泵(26)分别通过一级导管(29)和二级导管(30)与NaOH溶液池相连;气态反应物S2出口与水平尾气导管(25)相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安热工研究院有限公司,未经西安热工研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420622491.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code