[实用新型]用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备有效
申请号: | 201420622491.9 | 申请日: | 2014-10-24 |
公开(公告)号: | CN204174276U | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 南晴;肖俊峰;唐文书;高斯峰;上官博;李永君;张炯 | 申请(专利权)人: | 西安热工研究院有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/44 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710032 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备,包括真空炉体、气体供给控制系统以及真空与尾气处理系统。气体供给控制系统精确控制反应气、载气和保护气流量,反应气体通过导气座进入叶片内部冷却孔道反应生成涂层,实现叶片内孔道表面涂层全覆盖;保护气通过输气管道覆盖叶片外表面,防止叶片外表面与内孔道流出的反应气体长时间接触而反应生成有害厚度的涂层;采用碱液循环真空泵系统维持反应室给定的真空度并中和尾气中的HCl气体,通入气态反应物与尾气中的氯化铝气体反应生成固态颗粒物。本实用新型结构简单,操作方便,尾气处理能力强,生产效率高,能够满足叶片内孔道表面防护涂层的性能以及工业生产和环保要求。 | ||
搜索关键词: | 用于 制备 燃气 透平 叶片 表面 涂层 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】:
用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备,其特征在于:包括真空炉体(1)、气体供给控制系统(15)和真空与尾气处理系统;其中,真空炉体(1)的周向及顶端由外至内依次为炉外保温材料层、外炉壳、耐火材料衬里(2)和加热器(3),真空炉体(1)内设置有不锈钢内胆(4),不锈钢内胆(4)通过设置在真空炉体(1)底端的反应室底座(10)密封至真空炉体(1)内,不锈钢内胆(4)的腔室分为涂层反应室和尾气排放区,涂层反应室配置有与气体供给控制系统(15)相连接的中心处输气管道(5a)、若干Ar气输气管道(5b),中心处输气管道(5a)的周向设置有若干支架(8),每个支架(8)上均设置有一个导气座(7),每个导气座(7)均通过水平导管(6)与中心处输气管道(5a)相连通,每个导气座(7)的底端为多孔气体分散板(32),多孔气体分散板(32)内放置了若干Al‑Cr合金颗粒(33),叶片(S)的叶根设置在导气座(7)的顶端,且叶片(S)的叶根完全掩埋在其周向设置的耐高温惰性填料(34)中;气体供给控制系统(15)分别设置有Ar气出口、反应气体S1出口和气态反应物S2出口,Ar气出口分别与若干Ar气输气管道(5b)的入口相连,反应气体S1出口与中心处输气管道(5a)的入口相连;反应室底座(10)上设置有排气管道(11),排气管道(11)通过水平尾气导管(25)与真空与尾气处理系统中的碱液循环真空泵(26)相连,电动机(27)用于为碱液循环真空泵(26)提供动力,碱液循环真空泵(26)上设置有排气管(28),且碱液循环真空泵(26)分别通过一级导管(29)和二级导管(30)与NaOH溶液池相连;气态反应物S2出口与水平尾气导管(25)相连。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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