[实用新型]一种多层膜太阳能电池

摘要

本实用新型提供一种多层膜太阳能电池，包括：第一类型半导体衬底；第二类型掺杂层；减反射膜；上电极及下电极；其中，所述减反射膜由氮化硅复合层及形成于所述氮化硅复合层上的二氧化硅薄膜叠加而成，所述氮化硅复合层由至少三层氮化硅薄膜叠加而成。本实用新型的多层膜太阳能电池中，减反射膜为氮化硅复合层/二氧化硅多层膜结构，多层氮化硅薄膜使得光在电池表面经过多次折射，从而增加太阳能电池对光的吸收，同时氮化硅薄膜对硅材料中的电活性杂质和缺陷具有较好的场效应钝化效果，有利于进一步提高光吸收，而二氧化硅薄膜又可以降低多层氮化硅薄膜导致的界面缺陷密度增加，二者结合作为减反射膜，可以有效提高硅太阳能电池的效率。

主权项

一种多层膜太阳能电池，包括：第一类型半导体衬底；第二类型掺杂层，形成于所述第一类型半导体衬底表面；减反射膜，形成于所述第二类型掺杂层表面；上电极，形成于所述减反射膜表面；下电极，形成于所述第一类型半导体衬底背面；其特征在于：所述减反射膜由氮化硅复合层及形成于所述氮化硅复合层上的二氧化硅薄膜叠加而成，所述氮化硅复合层由至少三层氮化硅薄膜叠加而成。