[实用新型]高均匀度的紫外LED曝光头有效
| 申请号： | 201420651432.4 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN204129435U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 尹韶云;孙秀辉;董燕;周维超;吴鹏;蔡文涛;谭艾英;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高均匀度的紫外LED曝光头，包括紫外LED光源模组1、第一蝇眼透镜匀化系统2、第一准直场镜系统3、第二蝇眼透镜匀化系统4和第二准直场镜系统5，所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系统、第一准直场镜系统、第二蝇眼透镜匀化系统、第二准直场镜系统。本实用新型采用多个紫外LED构成的紫外LED光源模组作为光源，并采用蝇眼透镜匀化系统和准直场镜系统解决了紫外LED光源模组发散角大的问题。由于LED具有效率高、寿命长的特点，因而，解决了现有技术中汞灯曝光机存在的能耗高、易损坏、不安全等问题，具有结构简单、成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 紫外 led 曝光 | ||
【主权项】：
高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：包括紫外LED光源模组(1)、第一蝇眼透镜匀化系统(2)、第一准直场镜系统(3)、第二蝇眼透镜匀化系统(4)和第二准直场镜系统(5)，所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系统、第一准直场镜系统、第二蝇眼透镜匀化系统、第二准直场镜系统。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院，未经中国科学院重庆绿色智能技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420651432.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
