[实用新型]单晶生长装料用双层坩埚有效
申请号: | 201420661302.9 | 申请日: | 2014-11-07 |
公开(公告)号: | CN204198896U | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 李武芳;董汝昆;包文臻;祝永成;高云浩;金之生;王朝思 | 申请(专利权)人: | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人: | 董昆生 |
地址: | 650503 云南省昆明市*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 一种单晶生长装料用双层坩埚,涉及一种装料装置,尤其是一种通过提高坩埚高度,提高生产效率的单晶生长装料用双层坩埚。本实用新型的单晶生长装料用双层坩埚,其特征在于该双层坩埚包括石英管、上层坩埚、下层坩埚、中环以及石英封帽,上层坩埚与下层坩埚放置在石英管内,且上层坩埚设置在下层坩埚上方,中环放置在上层坩埚与下层坩埚之间,石英封帽设置在石英管顶部。本实用新型的单晶生长装料用双层坩埚,设计科学,结构简单,使用方便,将现有工艺中使用的单层坩埚变为双层坩埚,将原有每次7-8Kg的加工量提高到10Kg以上,提高了单位时间内的加工效率,有利于企业提高产能,降低单位成本,提高利润。 | ||
搜索关键词: | 生长 装料 双层 坩埚 | ||
【主权项】:
一种单晶生长装料用双层坩埚,其特征在于该双层坩埚包括石英管(1)、上层坩埚(2)、下层坩埚(3)、中环(4)以及石英封帽(5),上层坩埚(2)与下层坩埚(3)放置在石英管(1)内,且上层坩埚(2)设置在下层坩埚(3)上方,中环(4)放置在上层坩埚(2)与下层坩埚(3)之间,石英封帽(5)设置在石英管(1)顶部。
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