[实用新型]一种用于分析三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置

摘要

本实用新型涉及一种用于分析三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置，该装置包括密闭装置主体、混合气体收集器、吸收塔、与所述密闭装置主体相连的样品瓶。所述密闭装置主体的一侧设有混合气体出口接口，其中部设有氮气进口接口，其内壁设有螺纹Ⅰ；所述氮气进口接口通过硅胶管Ⅰ依次连接流量计、氮气控制阀至氮气管路；所述混合气体出口接口通过硅胶管Ⅱ与所述混合气体收集器相连，该混合气体收集器的一端经混合气体进口与所述吸收塔相连；所述吸收塔的一侧设有自来水出口，其顶部设有未反应的其它气体出口，其塔内上部设有带喷啉头的自来水管线，该自来水管线外接自来水总管；所述样品瓶设有外罩。本实用新型操作简单、重现性较好，可避免样品污染。

主权项

一种用于分析三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置，其特征在于：该装置包括密闭装置主体（1）、混合气体收集器（2）、吸收塔（3）、与所述密闭装置主体（1）相连的样品瓶（4）；所述密闭装置主体（1）的一侧设有混合气体出口接口（11），其中部设有氮气进口接口（12），其内壁设有螺纹Ⅰ（13）；所述氮气进口接口（12）通过硅胶管Ⅰ依次连接流量计（14）、氮气控制阀（15）至氮气管路（6）；所述混合气体出口接口（11）通过硅胶管Ⅱ与所述混合气体收集器（2）相连，该混合气体收集器（2）的一端经混合气体进口（31）与所述吸收塔（3）相连；所述吸收塔（3）的一侧设有自来水出口（32），其顶部设有未反应的其它气体出口（33），其塔内上部设有带喷啉头（34）的自来水管线（35），该自来水管线（35）外接自来水总管；所述样品瓶（4）设有外罩（5）。