[实用新型]真空镀膜腔体密封面保护装置

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜腔体密封面保护装置，包括：短边保护套，短边保护套具有一顶板，顶板与密封面平行，顶板的长边具有一缺口，顶板的长边垂直延伸出一外板，外板平行贴合于腔体的外壁，顶板的短边垂直延伸出一内板，内板平行贴合于腔体的内壁，短边与顶板形成的两台阶卡合于腔体内壁转角处；第一长边保护套和第二长边保护套均为两侧面开口并呈凹字形，第一长边保护套扣合于第一长边的密封面上；凸沿嵌合于该第二长边保护套的凹槽内，该保护装置操作简单方便，只需在换靶时，将密封面擦拭干净，将保护装置根据不同位置的密封面，扣上不同的密封保护装置即可，极大的保护了腔体的密封面，有效降低了因密封面问题导致的换靶失败。

主权项

一种真空镀膜腔体密封面保护装置，所述真空镀膜腔体为长方体，该腔体的一面具有一开口，该开口所处的平面为密封面，该腔体短边外壁均具有一定位凸起，该腔体的一第二长边的密封面向腔体内延伸一凸沿，其特征在于，该保护装置包括：短边保护套，该短边保护套具有一顶板，该顶板与该密封面平行，该顶板的长边具有一缺口，所述定位凸起卡合于该缺口，该顶板的长边垂直延伸出一外板，该外板平行贴合于该腔体的外壁，该顶板的短边垂直延伸出一内板，该内板平行贴合于该腔体的内壁，该短边与该顶板形成的两台阶卡合于该腔体内壁转角处；第一长边保护套，为两侧面开口并呈凹字形，该第一长边保护套扣合于该腔体的一第一长边的密封面上；第二长边保护套，也为两侧面开口并呈凹字形，且该腔体第二长边的凸沿嵌合于该第二长边保护套的凹槽内。