[实用新型]一种光刻机用陶瓷吸盘有效
| 申请号： | 201420681477.6 | 申请日： | 2014-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN204287728U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘海林;霍艳丽;贾志辉;梁海龙;胡传奇;黄小婷;唐婕;陈曙光 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。本实用新型在本体的内部筋板上设有凹槽，凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力，既满足产品的使用要求，又避免在吸盘的制作过程中，因陶瓷烧结过程中产生的内应力使吸盘变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 陶瓷 吸盘 | ||
【主权项】：
一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；其特征在于，还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
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