[实用新型]一种真空镀膜线的气体隔离调节装置有效
申请号: | 201420689707.3 | 申请日: | 2014-11-17 |
公开(公告)号: | CN204251699U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 郭庆;屠友明;黄琨;王贝;臧晓良 | 申请(专利权)人: | 中建材光电装备(太仓)有限公司;中国建材国际工程集团有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡;徐丹 |
地址: | 215434 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种真空镀膜线的气体隔离调节装置,其特征在于:由至少两个调节单元(1)组成,调节单元(1)包括第一螺栓(11)、L型板(12)、垫块(13)、第二螺栓(14)以及螺母(15);第一螺栓(11)将L型板(12)固定于真空镀膜线的腔体内壁上;L型板(12)的横向板面(122)上固定垫块(13),且横向板面(122)和垫块(13)上均贯穿设置有螺纹孔(1221),第二螺栓(14)从下往上穿入螺纹孔(1221)螺纹配合,其螺杆端的端面作为作用于气体隔离装置的顶压作用部(141)。本实用新型结构简单,调节方便快捷、准确性高,调节好间隙后通过螺母的锁紧,还能作为支撑件对气体隔离装置起到一定的支撑作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 气体 隔离 调节 装置 | ||
【主权项】:
一种真空镀膜线的气体隔离调节装置,其特征在于:由在水平方向上并列设置的至少两个调节单元(1)组成,每个所述调节单元(1)包括第一螺栓(11)、L型板(12)、垫块(13)、第二螺栓(14)以及螺母(15);所述L型板(12)包括竖向板面(121)以及与竖向板面(121)的上沿连接的横向板面(122),所述竖向板面(121)上开设有螺栓孔(1211),所述第一螺栓(11)经所述螺栓孔(1211)将L型板(12)固定于真空镀膜线的腔体内壁上;所述横向板面(122)的上表面上固定设置所述垫块(13),且横向板面(122)和垫块(13)上均贯穿设置有螺纹孔(1221),所述第二螺栓(14)从下往上穿入螺纹孔(1221)内与之螺纹配合,其螺杆端向上伸出与所述螺母(15)螺纹配合,而其螺杆端的端面作为作用于气体隔离装置的顶压作用部(141)。
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