[实用新型]一种大台面曝光机有效

专利信息
申请号: 201420691290.4 申请日: 2014-11-18
公开(公告)号: CN204229117U 公开(公告)日: 2015-03-25
发明(设计)人: 帅红 申请(专利权)人: 四川珩必鑫电子科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 629000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种大台面曝光机,它包括放板台(1)、曝光室(2)、输送导轨(3)、曝光平台(4)和曝光灯(5),放板台(1)的台面与曝光室(2)的入口相对应,曝光平台(4)包括透光平台座(6)和翻转盖(7),翻转盖(7)可转动打开或合上的安装在透光平台座(6)上,翻转盖(7)内设置有一层挡光膜(8),曝光室(2)内水平设置有一伸缩气缸(9),伸缩气缸(9)的活塞杆与曝光平台(4)连接,曝光室(2)内设置有一灯光罩(10),曝光灯(5)安装在灯光罩(10)内。本实用新型的有益效果是:它具有结构简单、适用于大尺寸铝基板曝光和曝光效果好的优点。
搜索关键词: 一种 台面 曝光
【主权项】:
一种大台面曝光机,其特征在于:它包括放板台(1)、曝光室(2)、输送导轨(3)、曝光平台(4)和曝光灯(5),所述的放板台(1)的台面与曝光室(2)的入口相对应,所述的曝光平台(4)包括透光平台座(6)和翻转盖(7),所述的翻转盖(7)可转动打开或合上的安装在透光平台座(6)上,所述的翻转盖(7)内设置有一层挡光膜(8),所述的曝光室(2)内水平设置有一伸缩气缸(9),伸缩气缸(9)的活塞杆与曝光平台(4)连接,所述的曝光室(2)内设置有一灯光罩(10),所述的曝光灯(5)安装在灯光罩(10)内。
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