[实用新型]一种新型硅片清洗筐

摘要

本实用新型提供一种新型硅片清洗筐，包括筐壁板和筐底板，所述筐壁板和框底板构成筐体，还包括挡板和挂耳，所述筐底板设有若干阶梯槽孔，且若干阶梯槽孔呈矩形均匀分布；所述阶梯槽孔同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应。本实用新型具有的积极效果是：新型硅片清洗筐结构能够同时清洗4篮4-6英寸的硅片，相对于原来只能清洗2筐6英寸硅片的清洗筐，大大提高了清洗效率，降低了能源损耗及产能浪费；阶梯槽孔的设计，能够同时适应不同尺寸的硅片放置篮，并且保证硅片的放置稳定安全，虽然结构简单，但是功能性强；壁孔和底孔的设计，减少了对超声波的遮挡，超声震荡清洗更加充分，清洗效果更加。

主权项

一种新型硅片清洗筐，包括筐壁板和筐底板，所述筐壁板和框底板构成筐体，其特征在于：还包括挡板和挂耳；两个所述挡板分别设置在框底板两根中轴线上，且与筐壁板相连接，所述清洗筐分隔成四个部分；所述挂耳设置筐壁板外表面上，且对称设置；所述筐壁板设有若干壁孔且均匀分布；所述清洗筐分隔成的四个部分各部分框底板设有一个矩形孔，且所述矩形孔居中设置；所述筐底板设有若干阶梯槽孔，且若干阶梯槽孔呈矩形均匀分布；所述阶梯槽孔同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应。