[实用新型]一种用于大口径平行束离子源的磁场装置

摘要

本实用新型公开了一种用于大口径平行束离子源的磁场装置，包括安装板，所述安装板中部设有一圆形区域，该圆形区域内开设有若干平行于径向的圆槽，每个所述圆槽内均设置有至少一根磁棒；两个相邻所述圆槽之间的安装板区域为放电区域，且所述放电区域的总面积小于所述磁棒占用的总面积；所述圆形区域外的安装板上设置有多根位于同一圆周上的导磁棒，且所述多根导磁棒分别与相应圆槽内的磁棒位置一一对应。本实用新型可提高离子源放电室内的磁场均匀性，确保放电室内磁场方向一致，从而提高离子源离子束的均匀性要求。

主权项

一种用于大口径平行束离子源的磁场装置，包括安装板（1），其特征在于，所述安装板（1）中部设有一圆形区域，该圆形区域内开设有若干平行于径向的圆槽（11），每个所述圆槽（11）内均设置有至少一根磁棒（2）；两个相邻所述圆槽（11）之间的安装板（1）区域为放电区域（21），且所述放电区域（21）的总面积小于所述磁棒（2）占用的总面积；所述圆形区域外的安装板（1）上设置有多根位于同一圆周上的导磁棒（3），且所述多根导磁棒（3）分别与相应圆槽（11）内的磁棒（2）位置一一对应。