[实用新型]在线光谱测量装置及透明介质膜层均匀性在线测量装置有效
| 申请号： | 201420703553.9 | 申请日： | 2014-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN204346906U | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 余刚;汪洪;王永斌;杨中周 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院;北京航玻新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/41;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种在线光谱测量装置及透明介质膜层均匀性在线测量装置，该在线光谱测量装置，包括支架，所述支架上设有导轨，导轨上设有测量探头，导轨一侧的支架上设有第一位置传感器，另一侧的支架上设有第二位置传感器，当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时，测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试，用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。该透明介质膜层均匀性在线测量装置，包括在线光谱测量装置、光学性能分析模块、折射率、厚度分析模块和均匀性分析模块，最终得到膜层厚度均匀性分布结果。本实用新型能够同时获得膜层折射率及平均厚度，不受膜层种类影响，具有通用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 光谱 测量 装置 透明 介质 均匀 | ||
【主权项】：
一种在线光谱测量装置，其特征在于，包括支架，所述支架上设有导轨，所述导轨上设有测量探头，所述导轨一侧的支架上设有第一位置传感器，另一侧的支架上设有第二位置传感器，当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时，所述测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试，用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。
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