[实用新型]二次电子检测器有效
| 申请号： | 201420711766.6 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN204287085U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 侯晶 | 申请（专利权）人： | 成都唯昂新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种二次电子检测器，包括：闪烁体，吸收二次电子并转换为光；导光体与闪烁体连接；以及光电转换装置，将闪烁体导出的光转换为电子后放大，且闪烁体包括：基板，配置于上述导光体上；导电膜设置于基板上，发光膜设置于导电膜上，闪烁体还包括配线，配线与上述导电膜连接。本实用新型能抑制自试样表面发出的二次电子的检测量。 | ||
| 搜索关键词： | 二次电子 检测器 | ||
【主权项】：
一种二次电子检测器，其特征在于包括：闪烁体，吸收二次电子并转换为光；导光体与闪烁体连接；以及光电转换装置，将闪烁体导出的光转换为电子后放大，且闪烁体包括：基板，配置于上述导光体上；导电膜设置于基板上，发光膜设置于导电膜上，闪烁体还包括配线，配线与上述导电膜连接。
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