[实用新型]一种射频大功率耦合器

摘要

本实用新型涉及一种粒子加速器射频技术领域，尤其是涉及一种射频大功率耦合器。其采用碗状陶瓷窗结构及合理的生产工艺，很好的解决了耦合器传输线阻抗匹配问题，内外导体均采用无氧铜材做成圆筒型结构，并设有冷却通道，外导体由多条轴向水路组成循环冷却，内导体为单一冷却水路与外导体回路串联。碗状陶瓷窗采用特殊焊接工艺将过渡金属法兰与陶瓷焊接而成，形成大气与真空的隔离与内外导体间的绝缘，并在其内外径方向设置冷却回路，在陶瓷窗内表面镀氮化钛涂层防止二次电子发射引发的热量。其碗状陶瓷窗结构受力较好，且传输线阻抗没有突变问题，能很好的解决了阻抗匹配问题，使高频功率传输效率更高发热更小，在同等功率等级下结构更加紧凑。

主权项

一种射频大功率耦合器，其特征是包括外导体,外导体内设置有内导体和碗状陶瓷窗，所述的外导体包括圆柱筒形前段、圆锥筒形中段和碗状陶瓷窗安装段，圆柱筒形前段前端设置有旋转活套法兰，圆锥筒形中段上设置有内外导体组合水路，碗状陶瓷窗安装段的前端设置有第一支撑法兰和第二支撑法兰，碗状陶瓷窗安装段后端设置有圆形法兰，所述的内导体包括半圆型环状结构的电磁耦合环，电磁耦合环通过真空钎焊与圆形直管相连，圆形直管后端设置有圆锥形变阻管，圆锥形变阻管尾部与碗状陶瓷窗相连，圆形直管和圆锥形变阻管内设置有内导体水路，所述的碗状陶瓷窗前端外径处设置有陶瓷窗压紧法兰和陶瓷窗螺纹压圈，碗状陶瓷窗后端内径处设置有过渡套筒，对应碗状陶瓷窗设置有陶瓷窗基座，陶瓷窗基座后端设置有插座，插座上安装有插座内水路。