[实用新型]一种用于压紧ito靶材的新型压紧装置有效
| 申请号： | 201420714864.5 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN204251693U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡家伟 | 申请（专利权）人： | 重庆鼎祥钢结构工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 401220 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于压紧ito靶材的新型压紧装置，包括安装于绝缘底座上的条状压紧本体，条状压紧本体上设有多个用于与绝缘底座连接的螺孔，设条状压紧本体上安装后位于外侧且与绝缘底座相对的表面为外表面，设条状压紧本体上安装后靠近ito靶材的侧面为第一侧面，条状压紧本体的外表面与第一侧面之间直接连接且为直角。本实用新型将传统用于压紧ito靶材的条状压紧体的斜面去掉，改为直角，形成本新型压紧装置的条状压紧本体，从而消除了条状压紧本体与ito靶材之间的台阶，可有效防止在磁控溅射过程中产生导电碎屑导致短路，溅射系统在ito靶材的使用寿命周期内一直能稳定工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 压紧 ito 新型 装置 | ||
【主权项】：
一种用于压紧ito靶材的新型压紧装置，包括安装于绝缘底座上的条状压紧本体，所述条状压紧本体上设有多个用于与所述绝缘底座连接的螺孔，其特征在于：设所述条状压紧本体上安装后位于外侧且与所述绝缘底座相对的表面为外表面，设所述条状压紧本体上安装后靠近所述ito靶材的侧面为第一侧面，所述条状压紧本体的外表面与第一侧面之间直接连接且为直角。
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