[实用新型]一种用于硅片切割的导轮装置

摘要

本实用新型提供了一种用于硅片切割的导轮装置，包括支撑轴、压盖、连接件和呈圆盘状的本体，本体沿着轴心开有供支撑轴穿过的中心孔，本体的轮面上设有三道导轮线槽，本体的两侧端面上均开有环形凹槽，环形凹槽底面开有若干个安装孔一，支撑轴具有与本体一侧的环形凹槽底面相抵靠的径向凸出的挡肩，压盖与本体另一侧的环形凹槽底面相抵靠，挡肩上开有若干安装孔二，压盖上开有若干安装孔三，连接件依次穿过安装孔二、安装孔一、安装孔三将支撑轴、本体和压盖固定。通过连接件将本体、压盖、支撑轴连接在一起，更换时只需将本体更换，本体体积较小，节省生产成本。

主权项

一种用于硅片切割的导轮装置，包括支撑轴、压盖、连接件和呈圆盘状的本体，其特征在于，所述本体沿着轴心开有供支撑轴穿过的中心孔，所述本体的轮面上设有三道导轮线槽，本体的两侧端面上均开有环形凹槽，所述环形凹槽底面开有若干个安装孔一，所述支撑轴具有与本体一侧的环形凹槽底面相抵靠的径向凸出的挡肩，所述压盖与本体另一侧的环形凹槽底面相抵靠，所述挡肩上开有若干安装孔二，所述压盖上开有若干安装孔三，所述连接件依次穿过安装孔二、安装孔一、安装孔三将支撑轴、本体和压盖固定。