[实用新型]曝光机的平行光形成装置有效
申请号: | 201420718013.8 | 申请日: | 2014-11-26 |
公开(公告)号: | CN204203630U | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 范金刚;蓝学军 | 申请(专利权)人: | 深圳市博宇佳瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 皮发泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种曝光机的平行光形成装置,该曝光机包括灯箱、抛物镜和曝光灯;灯箱的顶端安装有用于放置被曝光物的隔热玻璃,抛物镜和曝光灯均安装在灯箱内,曝光灯位于抛物镜的焦点的正上方且接近隔热玻璃的下方分布,曝光灯点亮后其所发出的光经抛物镜的反射后形成平行光从隔热玻璃中射出;该灯箱内还安设有表面经阳极氧化处理且位于曝光灯正上方的散射光遮光器,散射光遮光器吸收并遮挡曝光灯未经抛物镜反射的散射光。本实用新型保证曝光灯最大限度的接近被曝光物,光线的穿透力更强,减少曝光能量损失并且有效减少光线在传播过程中传播介质过多而引起平行光入射角变大的情形,从而保证的平行光较高的光线解像度。 | ||
搜索关键词: | 曝光 平行 形成 装置 | ||
【主权项】:
一种曝光机的平行光形成装置,其特征在于,包括灯箱、抛物镜和曝光灯;所述灯箱的顶端安装有用于放置被曝光物的隔热玻璃,所述抛物镜和曝光灯均安装在灯箱内,所述曝光灯位于抛物镜的焦点位置上,所述曝光灯点亮后其所发出的光经抛物镜的反射后形成平行光从隔热玻璃中射出;该灯箱内还安设有表面经阳极氧化处理且位于曝光灯正上方的散射光遮光器,所述散射光遮光器吸收并遮挡曝光灯未经抛物镜反射的散射光。
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