[实用新型]一种蓝宝石铜抛铜盘面修整系统有效
| 申请号： | 201420722992.4 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN204277783U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 郑松森;李建勳 | 申请（专利权）人： | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 211599 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石铜抛铜盘面修整系统，包括铜盘和车刀系统，所述车刀系统包括车刀架、车刀、前支点、角度调整螺杆和千分表，所述车刀设于车刀架的前端，所述前支点设于车刀架的前下方，所述角度调整螺杆设于车刀架的中下方，所述千分表设于车刀架的后下方。钻石车刀对铜盘的大小尺寸进行修整，能够有效的控制晶片的平坦度，同时对铜盘表面的凹凸形状进行修整，让其与载具表面的形状相匹配，让其达到最佳的效果，与此同时，也能够减少对铜盘修整的频率，起到延长铜盘使用寿命的作用，避免产生一些不必要的损失，达到了为企业节约成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 铜抛铜 盘面 修整 系统 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石铜抛铜盘面修整系统，其特征在于：包括铜盘（1）和车刀系统（2），所述车刀系统（2）包括车刀架（3）、车刀（4）、前支点（5）、角度调整螺杆（6）和千分表（7），所述车刀（4）设于车刀架（3）的前端，所述前支点（5）设于车刀架（3）的前下方，所述角度调整螺杆（6）设于车刀架（3）的中下方，所述千分表（7）设于车刀架（3）的后下方。
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