[实用新型]一种MOCVD旋转式密封门有效

专利信息
申请号: 201420725120.3 申请日: 2014-11-28
公开(公告)号: CN204326851U 公开(公告)日: 2015-05-13
发明(设计)人: 李致文;肖四哲 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: E06B3/36 分类号: E06B3/36;E06B3/70;E06B7/16
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 胡朝阳;孙洁敏
地址: 518000 广东省深圳市龙岗*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种MOCVD旋转式密封门,包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室,暂存腔室与门扇相接的侧面为门框,还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁,所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。在能够满足MOCVD设备的暂存腔室真空密封的同时,又能够方便的开启使用,非常便于MOCVD设备的使用、调试及维修,生产效率也随之提高。
搜索关键词: 一种 mocvd 旋转 密封
【主权项】:
一种MOCVD旋转式密封门,包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室,暂存腔室与门扇相接的侧面为门框,其特征在于:还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁,所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。
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