[实用新型]离子镀膜设备有效
| 申请号： | 201420729936.3 | 申请日： | 2014-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN204265830U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 石芳萍 | 申请（专利权）人： | 深圳市炬宇泰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种离子镀膜设备。包括镀膜炉和镀膜平台，镀膜炉的外围设置有加热保温炉，加热保温炉的顶部设置有外开合顶窗，镀膜炉的顶部设置有内开合顶窗，镀膜炉内设置有离子源，镀膜炉内还设置有位于镀膜平台四周的膜料，离子源能够膜料成为蒸汽镀在玻璃片上；加热保温炉内设置有加热盘管。其优点在于，一方面，通过离子源发射等离子体加热膜料，使膜料成为膜料蒸汽，均匀镀在玻璃片上，另外一方面，膜料位于镀膜平台四周加热后蒸发效果好，有利于增强膜层强度，设置的加热保温炉，一方面可以起到加温作用，进一步增强镀膜强度，更重要的是可以在镀完膜后出炉过程中使其具有过渡作用，有利于提高镀膜强度和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种离子镀膜设备，包括镀膜炉（1）和设置在镀膜炉内的镀膜平台（2），其特征在于：所述镀膜炉（1）的外围设置有加热保温炉（3），加热保温炉（3）的顶部设置有由动力装置启闭的外开合顶窗（4），镀膜炉（1）的顶部设置有由动力装置启闭的内开合顶窗（5），所述镀膜炉（1）内设置有能够发射等离子体的离子源（6），玻璃片能够从外开合顶窗（4）、内合顶窗（5）送入到镀膜平台（2）上，所述镀膜炉（1）内还设置有位于镀膜平台四周的膜料（7），所述离子源（6）能够膜料成为蒸汽镀在玻璃片上；所述加热保温炉（3）内设置有加热盘管（8）。
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