[实用新型]微机电可变形结构和三轴多自由度微机电陀螺仪

摘要

本实用新型涉及一种三轴多自由度微机电陀螺仪，包括：内框架、中间框架、外框架，以及位于内框架内部的联动部；位于中央的环形检测电容，环形上极板的外沿与联动部连接；两组驱动电容，对称分布在所述外框架平行于x轴的两侧；两组第二检测电容，对称分布在所述外框架平行于y轴的两侧。本实用新型的三轴多自由度微机电陀螺仪采用单结构设计，电容式静电驱动和差动电容检测，驱动方式简单，结构紧凑，有利于减小陀螺仪体积，工艺上适合批量生产，并且受温度及加工工艺误差影响小，能够实现良好的测量精度和灵敏度。

主权项

一种微机电可变形结构，其特征在于，包括：基板；位于所述基板上的同中心的三层矩形框架，从内向外依次为内框架、包围所述内框架的中间框架、以及包围所述中间框架的外框架，所述中心处为原点，所述内框架、中间框架、以及外框架各有两条边平行于x轴，另外两条边平行于y轴；所述外框架和所述中间框架之间通过第一解耦梁连接，所述第一解耦梁设置于所述中间框架平行于y轴的两侧；所述中间框架和所述内框架之间通过第二解耦梁连接，所述第二解耦梁设置于所述内框架平行于x轴的两侧；位于所述内框架内部的联动部，所述联动部包括第一联动梁，两条杠杆梁、以及两条第二联动梁；所述第一联动梁和所述第二联动梁均平行于y轴，所述杠杆梁均平行于x轴；两条所述杠杆梁关于x轴对称，分别与所述第一联动梁连接以形成一端开口的方框结构；两条所述第二联动梁关于x轴对称且位于所述杠杆梁和所述内框架之间，所述第二联动梁的一端连接邻近的一条杠杆梁，另一端连接所述内框架。