[实用新型]温度测量装置有效
| 申请号： | 201420735405.5 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204265843U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 徐志淮 | 申请（专利权）人： | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/12;C23C16/52;G01K7/06 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 蔡继清;崔佳佳 |
| 地址： | 215331 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种温度测量装置，用于测量聚对二甲苯真空卧式沉积系统蒸发室的温度。该温度测量装置包括壳体、热电偶以及接地结构。该壳体设有中心通孔，热电偶固定容纳于该壳体的中心通孔内并且与蒸发室的外表面接触。壳体的一端设有圆弧面，该圆弧面的弧度与蒸发室外表面的弧度相同，且接地结构的一端与热电偶电连接，另一端接地。采用本实用新型能解决聚对二甲苯真空卧式沉积系统蒸发室的温度测量结果不稳定，易受环境因素影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种温度测量装置，用于测量聚对二甲苯真空卧式沉积系统蒸发室的温度，其特征在于：所述温度测量装置包括壳体、热电偶以及接地结构，所述壳体设有中心通孔，所述热电偶固定容纳于所述壳体的中心通孔内并且与所述蒸发室的外表面接触，所述壳体的一端设有圆弧面，所述圆弧面的弧度与所述蒸发室外表面的弧度相同，且所述接地结构的一端与所述热电偶电连接，另一端接地。
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