[实用新型]一种力平衡式微机械电场传感器

摘要

本实用新型公开了一种力平衡式微机械电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一支撑基座、第二支撑基座、质量块、第一至第四折叠梁，所述金电极层包括第一长方形电极、第二长方形电极和多边形电极。本实用新型对应的微机械电场传感器结构简单，传感器性能对制造误差依赖小；接口电路可以直接与专用集成电路连接，避免了微弱电容检测电路的设计困难；本实用新型的传感器不需要时刻振动，电能消耗减小。

主权项

一种力平衡式微机械电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；其特征在于，所述结构层包括第一支撑基座、第二支撑基座、质量块、第一至第四折叠梁，所述金电极层包括第一长方形电极、第二长方形电极和多边形电极；其中，第一长方形电极与第二长方形电极之间相隔一定距离的溅射在玻璃基座上，多边形电极溅射在玻璃基座上且位于第一长方形电极与第二长方形电极的正中间，第一支撑基座键合在玻璃基座上且位于第一长方形电极上、第二支撑基座键合在玻璃基座上且位于第二长方形电极上，质量块设置在多边形电极的正上方且与玻璃基座上表面存有间距，质量块的左右两侧对称各设置两条折叠梁，各侧的两条折叠梁相对于质量块的横向中心线是上下对称的，第一折叠梁、第二折叠梁的一端与质量块的右侧连接，第三折叠梁、第四折叠梁的一端与质量块的左侧连接，第一折叠梁、第二折叠梁的另一端与第一支撑基座连接，第三折叠梁、第四折叠梁的另一端与第二支撑基座连接；质量块构成检测电容上极板，多边形电极构成检测电容下极板。