[实用新型]一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置有效

专利信息
申请号: 201420745046.1 申请日: 2014-12-03
公开(公告)号: CN204251765U 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 刘瑜;陈晓玲 申请(专利权)人: 杭州晶一智能科技有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310013 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种用于泡生法蓝宝石生长设备的自动氩气充填装置,所述的长晶设置上设置连接管,所述的连接管上设置1/2英寸电磁阀和真空计,所述的1/2英寸电磁阀连接1/2英寸计量阀,所述的1/2英寸计量阀通过软管连接1/2英寸球阀,所述的1/2英寸球阀连接氩气瓶,还包括进行集中控制的PLC控制器,所述的1/2英寸电磁阀、1/2英寸计量阀和真空计与PLC控制器通过信号线连接和通信。长晶设备内的真空度通过真空计发送给PLC控制器,由PLC控制器调节阀门的开闭次数,自动完成蓝宝石退火后的氩气填充过程。利用本实用新型,能自动完成泡生法蓝宝石退火后的氩气填充过程,大量减少设备维护人员的工作量,提高了晶体生长过程的劳动效率。
搜索关键词: 一种 泡生法 蓝宝石 设备 自动 充填 装置
【主权项】:
一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置,所述的长晶设置上设置连接管,其特征在于:所述的连接管上设置1/2英寸电磁阀和真空计,所述的1/2英寸电磁阀连接1/2英寸计量阀,所述的1/2英寸计量阀通过软管连接1/2英寸球阀,所述的1/2英寸球阀连接氩气瓶,还包括进行集中控制的PLC控制器,所述的1/2英寸电磁阀、1/2英寸计量阀和真空计与PLC控制器通过信号线连接和通信。
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