[实用新型]太赫兹波线宽测量的装置

摘要

本实用新型属于太赫兹波检测技术领域，为在太赫兹波段实现应用于线宽测量的扫描法布里-珀罗干涉仪，本实用新型采取的技术方案是，太赫兹波线宽测量的装置，包括如下结构：入射太赫兹波经第1表面镀金离轴抛物面镜之后平行出射至法布里-珀罗干涉仪腔镜；由高阻硅材料制成的位置固定法布里-珀罗干涉仪腔镜a，法布里-珀罗干涉仪腔镜b；步进移动平台沿太赫兹波传播方向步进运动；来自腔镜b的平行入射的太赫兹波经第2表面镀金离轴抛物面镜进行会聚；第2表面镀金离轴抛物面镜的焦点位置设置有斩波器，第2表面镀金离轴抛物面镜输出得太赫兹波经斩波器、热释电探测器、AD转换器输出测量结果。本实用新型主要应用于太赫兹波检测。

主权项

一种太赫兹波线宽测量的装置，其特征是，结构为：入射太赫兹波经第1表面镀金离轴抛物面镜之后平行出射至法布里‑珀罗干涉仪腔镜；由高阻硅材料制成的位置固定法布里‑珀罗干涉仪腔镜a，两个表面抛光，两个抛光表面具有1度左右的楔角，靠近腔镜b的表面与入射太赫兹波垂直；法布里‑珀罗干涉仪腔镜b材料及外形尺寸与腔镜a完全相同，靠近腔镜a的表面与入射太赫兹波垂直，腔镜b安装于移动平台上；步进移动平台沿太赫兹波传播方向步进运动；来自腔镜b的平行入射的太赫兹波经第2表面镀金离轴抛物面镜进行会聚；第2表面镀金离轴抛物面镜的焦点位置设置有斩波器，第2表面镀金离轴抛物面镜输出得太赫兹波经斩波器、热释电探测器、AD转换器输出测量结果。