[实用新型]光刻胶桶辅助装置有效
| 申请号： | 201420797611.9 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN204331288U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 崔相玉;魏明德;金惠东;金度亨 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 张荣亮 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光刻胶桶辅助装置，包括固定支架(3)，固定支架(3)内侧放置有光刻胶桶(1)，光刻胶桶内插有引流导管(2)，还包括驱动结构(4)和控制结构(5)，固定支架安装在驱动结构上方，驱动结构安装在固定支架的下方，用于调整固定支架的倾斜度；控制结构与驱动结构连接，用于控制驱动结构工作。本实用新型通过增设用于调节固定支架倾斜度的驱动结构和用于控制驱动结构工作的控制结构，可将固定支架内的光刻胶桶倾斜放置，充分利用光刻胶桶内的光刻胶，随着光刻胶桶倾斜的角度越来越大，光刻胶桶内光刻胶的残余量越来越少，直至耗尽无法被利用，进而最大限度的减少光刻胶的残余量，提高光刻胶的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶桶辅助装置，包括固定支架(3)，固定支架(3)内侧放置有光刻胶桶(1)，光刻胶桶(1)内插有引流导管(2)，其特征在于，还包括驱动结构(4)和控制结构(5)，所述固定支架(3)安装在驱动结构(4)上方，所述驱动结构(4)安装在固定支架(3)的下方，用于调整固定支架(3)的倾斜度；所述控制结构(5)与驱动结构(4)连接，用于控制驱动结构(4)工作。
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