[实用新型]密闭式晶圆传送盒

摘要

本实用新型涉及一种密闭式晶圆传送盒，包括供容置数个晶圆框架的盒体；固设在该盒体的一面上的导引元件；以可滑动及可枢转的方式与该导引元件结合的片体；以可枢转的方式与该片体结合的盖子。借助该片体与该导引元件间的滑动及枢转，以及该片体与该盖子的枢转，该盖子予以相对于该盒体作一维滑动及枢转，以便让该盒体与该盖子分离，并可将该盖子的一边稳固地放置于该盒体的一侧，让该盒体呈开启状态。

主权项

一种密闭式晶圆传送盒，其特征在于包括：一个盒体，具有供容置数个晶圆框架的容置空间；一个导引元件，固设在该盒体的一面上并具有至少一个导引槽；一个片体，具有至少一个枢接滑动部，而该至少一个枢接滑动部以可滑动及可枢转的方式容置于该导引元件内的该至少一个导引槽中并使该片体相对该至少一个导引槽作滑动及枢转；及一个盖子，以可枢转的方式与该片体结合并选择性地密闭该盒体的容置空间。