[实用新型]一种空气采样泵装置有效
申请号: | 201420804624.4 | 申请日: | 2014-12-17 |
公开(公告)号: | CN204269441U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 施燕莉;李广宁 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01N1/24 | 分类号: | G01N1/24 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种空气采样泵装置,包括通过管路连接的采样管及泵体;管路包括第一、第二防护段;第一防护段包括分别与第一管道及第二管道连接的二通阀,第一管道中放置单透膜,单透膜与二通阀之间设有与泵体及二通阀电连接移动警报装置;第二防护段包括入口与第二管道连接、两个出口分别与第一、第二分支管道连接的三通阀;第一分支管道与内壁设有吸水树脂膜、出口装设有封闭阀门的第一干燥管连接;第二分支管道与第二干燥管连接,第二干燥管的出口与所述泵体连接;第二管道内壁上装设有与三通阀及封闭阀门电连接的液体传感器。本实用新型形成采样泵的多重防护,从而确保泵的使用和正常取样,防止采样泵或机台意外损坏,延长采样泵的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 空气 采样 装置 | ||
【主权项】:
一种空气采样泵装置,包括采样管及泵体,所述采样管顶部设有空气入口及管路接口,所述管路接口与所述泵体之间通过管路连接,其特征在于:所述管路包括第一防护段及第二防护段;所述第一防护段包括一二通阀,所述二通阀的入口通过第一管道与所述管路接口连接、出口与第二管道连接;所述第一管道中放置有一能透过气体而不能透过液体的单透膜,所述单透膜与所述二通阀之间设有移动警报装置;所述移动警报装置安装于所述第一管道内壁并与所述泵体及二通阀电连接,当所述单透膜由于液体冲力与所述移动警报装置接触并触发所述移动警报装置,所述移动警报装置控制所述泵体停止抽气,并控制所述二通阀使其关闭;所述第二防护段包括入口与所述第二管道连接的三通阀,所述三通阀的两个出口分别与第一分支管道及第二分支管道连接;所述第一分支管道与一内壁设有吸水树脂膜的第一干燥管的入口连接,所述第一干燥管的出口装设有一封闭阀门;所述第二分支管道与一第二干燥管的入口连接,所述第二干燥管的出口通过第三管道与所述泵体连接;所述第二管道内壁上装设有与所述三通阀及所述封闭阀门电连接的液体传感器,当所述液体传感器未检测到液体时,所述第一分支管道关闭,所述第二分支管道开启,当所述液体传感器检测到液体时,所述液体传感器控制所述三通阀关闭所述第二分支管道并开启第一分支管道,并控制所述封闭阀门关闭所述第一干燥管的出口。
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