[实用新型]一种用于靶材喷涂的真空罐体

摘要

本实用新型公开一种用于靶材喷涂的真空罐体，所述真空罐体包括罐体及多个安全阀，所述罐体两端分别具有靶材进、出口，而所述靶材进、出口位置均与密封门配合，从而形成密封罐体；而所述多个安全阀分别安装在靶材进、出口上端，从而形成对罐体内低压状态喷涂的保护结构。本实用新型在靶材喷涂的真空罐体上设置安全阀，从而确保生产的安全；另一方面能保证靶材只预订低压真空环境内进行喷涂，从而确保靶材品质，同时解决罐体内气压过大存在的风险，提高工作效率。

主权项

一种用于靶材喷涂的真空罐体，其特征在于：所述真空罐体包括罐体及多个安全阀，所述罐体两端分别具有靶材进、出口，而所述靶材进、出口位置均与密封门配合，从而形成密封罐体；而所述多个安全阀分别安装在靶材进、出口上端，从而形成对罐体内低压状态喷涂的保护结构。