[实用新型]一种石墨烯气敏传感元件有效

专利信息
申请号: 201420820822.X 申请日: 2014-12-19
公开(公告)号: CN204241405U 公开(公告)日: 2015-04-01
发明(设计)人: 林伟豪;高致慧;杨勇;贺威;郑照强;洪泽华;王冰;李金艳 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 代理人: 胡玉
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种石墨烯气敏传感元件,包括:硅衬底层、氧化硅层、电极层和单层的石墨烯膜,所述氧化硅层位于硅衬底层上;所述电极层位于氧化硅层上;所述石墨烯膜位于氧化硅层上,并覆盖所述电极层。本实用新型在硅衬底层上生成一层氧化硅层,然后将插电电极的电极层布置在氧化硅层上,再将石墨烯膜转移上去,所述石墨烯膜覆盖电极层,由于石墨烯的特殊性,使得制备一片完整尺寸的石墨烯膜具有一定难度,而采用分散插电电极的结构,即使石墨烯膜是分散的,但由于电极层包括了密集分布的插电电极,使得插电电极的两端接触的石墨烯膜仍相当于是同一片石墨烯膜,完全可以达到检测的效果,大大降低了石墨烯气敏传感元件的生产成本和加工难度。
搜索关键词: 一种 石墨 烯气敏 传感 元件
【主权项】:
一种石墨烯气敏传感元件,其特征在于,包括:硅衬底层、氧化硅层、电极层和石墨烯膜,所述氧化硅层位于硅衬底层上;所述电极层位于氧化硅层上;所述石墨烯膜位于氧化硅层上,并覆盖所述电极层。
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