[实用新型]一种石墨烯气敏传感元件有效
| 申请号： | 201420820822.X | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN204241405U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 林伟豪;高致慧;杨勇;贺威;郑照强;洪泽华;王冰;李金艳 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡玉 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种石墨烯气敏传感元件，包括：硅衬底层、氧化硅层、电极层和单层的石墨烯膜，所述氧化硅层位于硅衬底层上；所述电极层位于氧化硅层上；所述石墨烯膜位于氧化硅层上，并覆盖所述电极层。本实用新型在硅衬底层上生成一层氧化硅层，然后将插电电极的电极层布置在氧化硅层上，再将石墨烯膜转移上去，所述石墨烯膜覆盖电极层，由于石墨烯的特殊性，使得制备一片完整尺寸的石墨烯膜具有一定难度，而采用分散插电电极的结构，即使石墨烯膜是分散的，但由于电极层包括了密集分布的插电电极，使得插电电极的两端接触的石墨烯膜仍相当于是同一片石墨烯膜，完全可以达到检测的效果，大大降低了石墨烯气敏传感元件的生产成本和加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯气敏 传感 元件 | ||
【主权项】：
一种石墨烯气敏传感元件，其特征在于，包括：硅衬底层、氧化硅层、电极层和石墨烯膜，所述氧化硅层位于硅衬底层上；所述电极层位于氧化硅层上；所述石墨烯膜位于氧化硅层上，并覆盖所述电极层。
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