[实用新型]实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置

摘要

本实用新型涉及一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机的砂尘过滤箱，而其：还包括砂灰沉积箱和由若干个喷淋头组成的水雾除尘装置；所述砂尘过滤箱与砂灰沉积箱顶部所设的进风口，经由管路相连通；所述砂灰沉积箱的顶部设有排气口，在其底下部位设有排水口；所述水雾除尘装置设在砂灰沉积箱的进风口部位且沿进风口圆周方向分开布置，而喷淋头通过水阀与水源连通；在工况下，来自砂尘过滤箱的废气，通过水雾除尘装置所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱并由排气口排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱沉淀后由排水口排出。本实用新型具有能吸附拦截直径小于3微米细微粉尘颗粒等优点。

主权项

一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机（6）的砂尘过滤箱（6‑1），其特征在于：还包括砂灰沉积箱（2）和由若干个喷淋头（3‑1）组成的水雾除尘装置（3）；所述砂尘过滤箱（6‑1）与砂灰沉积箱（2）顶部所设的进风口（2‑1），经由管路（1）相连通；所述砂灰沉积箱（2）的顶部设有排气口（2‑2），在其底下部位设有排水口（2‑3）；所述水雾除尘装置（3）设在砂灰沉积箱（2）的进风口（2‑1）部位且其若干个喷淋头（3‑1）沿进风口（2‑1）圆周方向分开布置，而喷淋头（3‑1）通过水阀与水源连通；在工况下，来自砂尘过滤箱（6‑1）的废气，通过水雾除尘装置（3）所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱（2）并由排气口（2‑2）排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱（2）沉淀后由排水口（2‑3）排出。