[实用新型]一种PVD设备的维护工具有效
| 申请号： | 201420835443.8 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN204431075U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 冯电波;方广志;王勇;庄春泉;杨春秀 | 申请（专利权）人： | 江苏武进汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | B24D15/02 | 分类号： | B24D15/02;A46B15/00 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 徐琳淞 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD设备的维护工具，包括相互连接的刷头和刷柄；所述刷头的一侧面上设置刺刷；刷头的另一侧面上粘贴多层砂纸，位于最外层的砂纸的砂面朝外；在所述多层砂纸的外部设置保护盖。本实用新型主要使用于镀膜、半导体等设备日常维护，保养时清洁工作，结构简单，容易制作，可以节省更换工具的时间，提高生产效率，进而提升生产线产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 设备 维护 工具 | ||
【主权项】：
一种PVD设备的维护工具，其特征在于：包括相互连接的刷头(1)和刷柄(2)；所述刷头(1)的一侧面上设置刺刷(3)；刷头(1)的另一侧面上粘贴多层砂纸(4)，位于最外层的砂纸(4)的砂面朝外；在所述多层砂纸(4)的外部设置保护盖。
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