[实用新型]磁极溅射装置

摘要

本实用新型提供一种磁极溅射装置，包括：靶材、用于支撑靶材的背板、位于速搜背板的相对于所述靶材的另一侧并与所述背板间隔设置的磁铁系统，磁铁系统包括至少两个条形磁铁，每个条形磁铁与相邻条形磁铁的磁极相反；以及每个条形磁铁上均设有驱动装置，驱动装置用于带动每个条形磁铁的一端在靠近或远离靶材的方向上进行往返运动。通过在靶材一侧设置磁铁系统，磁铁系统中包括多个条形磁铁，条形磁铁在设于其上的驱动装置的作用下，与靶材形成一定的夹角，从而使得磁铁系统穿过靶材各部分的磁场基本相同，靶材在磁铁系统均匀磁场的作用下达到基本均匀消耗，从而延长了靶材的使用寿命。

主权项

一种磁极溅射装置，包括：靶材、用于支撑所述靶材的背板、位于所述背板的相对于所述靶材的另一侧并与所述背板间隔设置的磁铁系统，其特征在于，所述磁铁系统包括至少两个条形磁铁，每个所述条形磁铁与相邻所述条形磁铁的磁极相反；以及每个条形磁铁上均设有的用于带动每个所述条形磁铁的至少一端在靠近或远离所述靶材的方向上进行往返运动的驱动装置。