[实用新型]装舟工作台有效

专利信息
申请号: 201420844296.0 申请日: 2014-12-26
公开(公告)号: CN204354095U 公开(公告)日: 2015-05-27
发明(设计)人: 李运金;王毅;王万世 申请(专利权)人: 扬州扬杰电子科技股份有限公司
主分类号: B25H1/20 分类号: B25H1/20;B08B15/00;B08B17/02
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 周全
地址: 225008 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 装舟工作台。提供了一种结构简单,操作方便,能提高晶片的洁净度和设备使用效率的装舟工作台。包括工作台和设置在工作台上的封闭式的抽气装置,所述抽气装置包括抽气罩、抽气管、吹气管、感应器和一对套袖,所述抽气罩罩设于所述工作台上,所述抽气罩具有出气口、吹气通道、进出专用门和一对手臂进出孔,所述进出专用门铰接设于所述抽气罩的侧面,所述吹气通道设于所述抽气罩的侧壁内且位于所述进出专用门的上方,所述一对手臂进出孔设于所述抽气罩的前面,所述出气口设于所述抽气罩的后面。本实用新型结构简单,操作方便,提高抽气装置的利用率,降低其运行负担,同时也提高了晶片的洁净度。
搜索关键词: 工作台
【主权项】:
装舟工作台,其特征在于,包括工作台和设置在工作台上的封闭式的抽气装置,所述抽气装置包括抽气罩、抽气管、吹气管、感应器和一对套袖,所述抽气罩罩设于所述工作台上,所述抽气罩具有出气口、吹气通道、进出专用门和一对手臂进出孔,所述进出专用门铰接设于所述抽气罩的侧面,所述吹气通道设于所述抽气罩的侧壁内且位于所述进出专用门的上方,所述一对手臂进出孔设于所述抽气罩的前面,所述出气口设于所述抽气罩的后面;所述抽气管和吹气管分别连接所述出气口和吹气通道,所述感应器设于所述抽气罩的侧壁上且位于所述进出专用门的上方,所述一对套袖分别连接所述一对手臂进出孔。
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