[实用新型]一种晶圆存储柜的氮气填充装置

摘要

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种晶圆存储柜的氮气填充装置，包括晶圆存储柜以及晶圆传送盒，晶圆传送盒上设有氮气进气口以及空气排出口；晶圆存储柜上设有的进气管道以及排气管道，进气管道的一端与氮气进气口连通，其另一端与氮气源连接，排气管道的一端与空气排出口连通，其另一端与回收容器连接，氮气源与回收容器之间设有用于分离氮气的压缩机；其中，进气管道上设有第一启闭阀，排气管道上设有第二启闭阀。本实用新型通过对传输到晶圆存储柜内的晶圆传送盒进行氮气填充，将晶圆传送盒内的氧气和水汽排出，同时使晶圆传送盒内充满干燥的氮气，避免在晶圆表面生成氧化物，提高了晶圆的良品率。

主权项

一种晶圆存储柜的氮气填充装置，包括晶圆存储柜以及晶圆传送盒，所述晶圆存储柜用于存储所述晶圆传送盒，所述晶圆传送盒用于存储晶圆，其特征在于，所述晶圆传送盒上设有氮气进气口以及空气排出口；所述晶圆存储柜上设有的进气管道以及排气管道，所述进气管道的一端与所述氮气进气口连通，其另一端与氮气源连接，所述排气管道的一端与所述空气排出口连通，其另一端与回收容器连接，所述氮气源与回收容器之间设有用于分离氮气的压缩机，所述压缩机将分离后的氮气输送至所述氮气源，同时将分离后的空气排放至外界；其中，所述进气管道上设有第一启闭阀，所述排气管道上设有第二启闭阀。