[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置

摘要

一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，是由：车体、上绝缘块、一号磁靴、倒U形磁铁护套、强磁N极、下绝缘座、传动导向杆、传动系统传动轮、T形磁铁护套、强磁S极、二号磁靴、螺钉构成；结构简单，设计合理，操作方便，制造成本低，运行效果显著，提高了工作效率，提升了产品质量，适用于真空磁控溅射镀膜设备连续基片流，提升了小车在真空室内运行的平稳性能、加减速性能、绝缘性能、显著提高了生产产品的质量、提高生产产量、合格率，对优化工艺有着明显的改善，有效降低了设备的故障率，在真空磁控镀膜设备中属于高端设备的技术改革。

主权项

一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，是由：车体(1)、上绝缘块(2)、一号磁靴(3)、倒U形磁铁护套(4)、强磁N极(5)、下绝缘座(6)、传动导向杆(7)、传动系统传动轮(8)、T形磁铁护套(9)、强磁S极(10)、二号磁靴(11)、螺钉(12)构成；其特征在于：车体(1)上方设置至少五个上绝缘块(2)，下方设置至少五个下绝缘座(6)，上绝缘块(2)的上方与倒U形磁铁护套(4)之间设置一号磁靴(3)，倒U形磁铁护套(4)内设置强磁N极(5)，下绝缘座(6)下方设置传动导向杆(7)，传动导向杆(7)下方与传动系统传动轮(8)对应设置；倒U形磁铁护套(4)上方设置T形磁铁护套(9)，T形磁铁护套(9)与倒U形磁铁护套(4)之间预留磁场作用空间，T形磁铁护套(9)内设置强磁S极(10)，T形磁铁护套(9)上方设置二号磁靴(11)，T形磁铁护套(9)通过螺钉(12)固定在二号磁靴(11)上，二号磁靴(11)设置在真空腔室顶部(13)。