[发明专利]工艺模块及其制造方法和利用该工艺模块的基板加工方法

摘要

提供了工艺模块及其制造方法和利用该工艺模块的基板加工方法。工艺模块特征在于具有其中多个小区基板根据预设对齐标准被粘合剂固定在载体构件上的结构，以及工艺模块的制造方法包括：根据预设对齐标准对齐小区基板，将粘合剂应用到小区基板和载体构件之间的彼此面对的至少一个表面中，以及通过使用粘合剂将多个小区基板附接到载体构件。基板加工方法特征在于通过使用与小区基板整合的工艺模块的同时执行小区基板的基板加工工艺，并可以选择性包括在基板加工工艺中将用于小区基板的对齐标准校准到工艺模块中的小区基板的对齐状态。

主权项

一种基板加工方法，其中，对于从裸板分离的多个小区基板执行至少一个基板加工工艺，所述方法包括：制造具有以下结构的工艺模块，在所述结构中，所述多个小区基板在对齐状态下附接到载体构件；以及通过利用所制造的所述工艺模块执行所述基板加工工艺。