[发明专利]透明阻气膜的制造方法和透明阻气膜的制造装置无效
| 申请号： | 201480001820.0 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN104428440A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 山田泰美 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;B32B9/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的透明阻气膜的制造方法是使用卷对卷方式实施的。该制造方法包括在输送长条带状的树脂基板(8)过程中将成分不同的多种薄膜分别在所述树脂基板(8)上层叠多层的工序，在薄膜形成区域中设有数量与所述薄膜的种类数量对应的蒸发源(91、92)，使所述长条带状的树脂基板(8)交替地穿过所述薄膜形成区域和非薄膜形成区域，通过在所述薄膜形成区域中使所述多个蒸发源(91、92)中含有的材料分别附着在所述树脂基板(8)上，从而在所述树脂基板(8)上形成层叠了多层所述多种薄膜而成的透明阻气层。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 阻气膜 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种透明阻气膜的制造方法，在该制造方法中采用了卷对卷方式，其中，该透明阻气膜的制造方法包括在输送长条带状的树脂基板的过程中，将成分不同的多种薄膜分别在所述树脂基板上层叠多层的工序，在薄膜形成区域设有数量与所述薄膜的种类数量对应的蒸发源，使所述长条带状的树脂基板交替地穿过所述薄膜形成区域和非形成区域，并在所述薄膜形成区域中使多个所述蒸发源中含有的材料分别附着在所述树脂基板上，从而在所述树脂基板上形成层叠了多层所述多种薄膜而成的透明阻气层。
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