[发明专利]超声波清洗装置以及超声波清洗方法有效
| 申请号： | 201480003038.2 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104781019A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 长谷川浩史;今关康博;八锹照治 | 申请（专利权）人： | 株式会社海上 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于，减少在清洗被清洗物时使用的清洗液的量。超声波清洗装置具备：超声波振子(11)；储液部(12)，其设为与所述超声波振子接触；流入口(12a)，其使清洗液(13)向所述储液部内流入；以及流出口(12b)，其使所述清洗液向所述储液部外流出，所述超声波振子与所述清洗液接触的接触面(11a)配置为均低于所述流入口以及所述流出口。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种超声波清洗装置，其特征在于，所述超声波清洗装置具备：超声波振子；储液部，其设为与所述超声波振子接触；流入口，其使清洗液向所述储液部内流入；以及流出口，其使所述清洗液向所述储液部外流出，所述超声波振子与所述清洗液接触的接触面配置为均低于所述流入口以及所述流出口。
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