[发明专利]位置检测器的精度补正方法

摘要

本发明可提供一种位置检测器的精度补正方法，该方法是将从第n个阶段移动至第n+1个阶段的时间设为T，根据S＝p/T求出平均速度S，并根据En[i]＝Gn[i]‑i·S·Δt‑Gn[0]求出内插误差En[i]，且将当前的二次侧部件的相对位置设为检测位置Gm，且n‑a≤m≤n+a时，求出|Gm‑Gn[i]|成为最小的i＝I的内插误差En[I]，并根据X′＝p·m+Gm‑En[I]求出检测位置X′，由此可简单地进行对时效变化较强的内插误差补正，其中，a为预先规定的整数。

主权项

一种位置检测器的精度补正方法，其使以一定间距图案配置有被测定对象的一次侧部件与作为测定部的二次侧部件的相对位置，以一定速度或角速度变化，由此进行位置的检测，所述位置检测器的精度补正方法的特征在于，在一次的测定中，存储所述二次侧部件的相对位置在移动通过所述被测定对象的第n个阶段至到达第n+1个阶段为止的1间距的长度或角度p的期间，以一定时间间隔Δt为单位所检测出的间距范围内的时刻i·Δt时的位移量Gn[i]，其中，i为取样编号0～N‑1的自然数，将移动所述第n个阶段至所述第n+1个阶段的所述p的时间设为T，根据S＝p/T求出平均速度或平均角速度S，并根据En[i]＝Gn[i]‑i·S·Δt‑Gn[0]求出所述第n个阶段至所述第n+1个阶段的间距内的内插误差En[i]，在将当前的所述二次侧部件的相对位置即检测位置设为第m个阶段至第m+1个阶段的间距范围内的检测位置Gm，且n＝m+1时，求出|Gm‑Gn[i]|成为最小的i＝I的内插误差En[I]，并根据X′＝p·m+Gm‑En[I]求出所述被测定对象的自零点位置起的位置即检测位置X′，其中，a为预先规定的整数。